什么是凈化車間？

凈化車間是指在一定空間內(nèi)排除空氣中的顆粒、有害空氣、細(xì)菌等污染物，將室內(nèi)溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度及分布、噪聲振動、照明、靜電控制在規(guī)定要求范圍內(nèi)的專門設(shè)計的房間。也就是說，無論外部空調(diào)如何變化，其內(nèi)部都可以具有保持原本要求的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能的特點。

定義凈化車間。

凈化室的主要功能是控制產(chǎn)品(如硅片等)接觸空氣的潔凈度、溫度和濕度。)，使產(chǎn)品能在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，這就是所謂的凈化室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要根據(jù)空氣中粒徑大于每立方米的顆粒數(shù)量來確定。也就是說，所謂無塵不是沒有灰塵，而是控制在一個更小的單元里。的確，這個標(biāo)準(zhǔn)中的塵埃粒子與我們常見的塵埃相比微不足道，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，即使是微小的塵埃也會產(chǎn)生很大的負(fù)面影響。因此，無塵生產(chǎn)光學(xué)結(jié)構(gòu)是必然要求。

小于0.3微米/立方米的顆粒數(shù)控制在3500以下，達(dá)到國際無塵A級標(biāo)準(zhǔn)。目前芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對粉塵的要求比A級高，這個高標(biāo)準(zhǔn)主要適用于一些高檔芯片生產(chǎn)。粉塵量在5μm以下，嚴(yán)格控制在每立方米1000以內(nèi)，即工業(yè)上常見的1K級。